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直拉式长晶炉回收+盐城东台涡轮分子泵回收的厂家
文章来源：shxj365
发布时间：2024-04-29 00:54:33
直拉式长晶炉盐城东台涡轮分子泵的厂家其包括氩气输入管，与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa，氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置，其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔。本发明了一种直拉式单晶生长炉全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6，根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉。根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4，根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉。该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)，该炉的排气口(13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通。设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电极孔(2-2)，以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口(13)相对的通气孔(2-3)。氩气流量为30L/min。
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通过自身发热作为整个热场的热量来源，因此也是整个热场中为核心的部件。而加热器的设计需要综合考虑热学，力学，电学，机械等各个领域内的知识，比较复杂，因此很多使用的加热器都存在种种先天缺陷，造成使用时发热不足，打火，变形过大，寿命过短等问题。下文将从加热器的使用要求入手，分析加热器的设计。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约，单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动，又要上升运动，同时还要保持速度稳定，对中性好，不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化，造成有效分凝系数的变动，导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀，引起对流情况不稳定，导致生长时固液界面过冷度的变化，为枝晶生长条件[1]。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料会严重地影响单晶体的内在品质。因此找出引起提拉系统软轴晃动。